1. 加工速度

是用来反映加工效率的，表示加工的快慢程度，其单位一般用重量克/分（g/min）表示。对加工来讲，希望它越大越好。但加工速度越快，加工面越粗糙，间隙也会变大，一般来讲，电极的消耗比同时也会增多。

2. 加工面粗糙度

反映加工面凹凸不平的状况。其数值越小，反映凹凸的差异也小，面粗度也越好，其单位通常用Rｍａｘ表示。Rｍａｘ指的是加工面的峰顶到谷底的高度。也可用Rａ表示，Rａ指高度的平均值.

3. 消耗比

电极消耗比是指电极消耗量除以被加工量的比值。通常以其重量比来表示。有的也以电极消耗长度和加工深度之比来表示。

由于在液中放电所产生的热作用和力学作用，在电极和工作物间同时都産生去除现象，工作物的去除量称之为被加工量，电极的去除量则称爲消耗量。实际的加工中，总是希望尽可能增大加工量，而减少电极的消耗量。但是由于电极和工作物材质的差异（有时爲相同材质）及极性的不同，消耗比变化较大。